片式合金箔电阻高精度加工技术的研究

作者：史书刚^*; 张秀; 陈天磊; 周瑞山

来源：电子元件与材料, 2018, 37(12): 83-86.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2018.12.015

• 合金箔电阻
• 高精度
• 电阻图形
• 数字调阻技术
• 高精度刻蚀

为了实现片式合金箔电阻器阻值超高精度研制的目的,采用了电阻图形合理的设计与实现,并结合电阻图形高精度加工工艺的技术方法。该技术方法中引入独创的数字化调阻技术,并采用高精度刻蚀的手段进行工艺实现。结果表明,通过技术方法的实施,不仅有效提高了合金箔电阻器的精度等级,还提升了合金箔电阻器的自动化生产工艺水平。