长波640×512元GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器的研制

作者：胡小燕; 周立庆; 于艳; 杜鹏; 谭振; 王南; 孙海燕

来源：激光与红外, 2010, (11): 1220-1223.

• 量子阱
• 焦平面
• 长波 quantum well
• focal plane arrays
• long wavelength

量子阱红外探测器由于具有更高的材料均匀性和成品率,是红外探测技术研究的重点方向之一。本文通过突破材料外延、器件制备工艺、读出电路设计以及倒装互连等关键工艺技术,研制了长波640×512元GaAs/A lGaAs量子阱红外焦平面探测器。77 K下,器件的平均黑体响应率Rv为1.4×107V/W,峰值探测率Dλ*为6.2×109cm Hz1/2W-1,器件的盲元率达到了0.87%,响应率不均匀性5.8%,并在77 K下对探测器进行成像演示。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十一研究所