微结构的精密微细铣削加工技术研究

作者：杨占凯; 董文满; 谌祖辉; 张鹏

来源：航空精密制造技术, 2011, (01): 8-10+14.

• 微制造
• 超精密机床
• 微细铣削
• 微结构 micro fabrication
• ultra-precision machine tool
• micro-milling
• microstructure

探讨在超精密微小型铣床上进行微结构的精密微细铣削的可行性,使用不同类型的微小刀具在高分子材料上成功的加工出不同的微结构阵列,使用扫描电子显微镜和激光共聚焦显微镜观察并分析了精密微细铣削加工的微结构阵列。

• 单位
  哈尔滨工业大学; 中航工业西安飞行自动控制研究所