本文提出了一种In0.4Ga0.6N/GaN同型异质结构IMPATT二极管。由于传统GaN基IMPATT器件中存在不成熟的P型GaN制造工艺问题,本研究可以成为GaN基IMPATT器件的替代设计方案。本文详细研究了In0.4Ga0.6N/GaN异质结和PN结两种不同结构的IMPATT二极管的直流和交流输出特性。研究结果显示,In0.4Ga0.6N/GaN IMPATT二极管在不使用P型GaN的情况下也可以达到优于传统PN结IMPATT二极管的性能表现。