电流体动力学近场直写工艺参数对微图案的影响

作者：李鹏; 吴婷^*; 张礼兵; 陈建洲; 冯孝为; 黄风立; 左春柽

来源：微纳电子技术, 2019, 56(01): 65-70.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.011

• 电流体动力学
• 近场直写
• 微图案
• 聚氧化乙烯(PEO)
• 柔性绝缘基板

以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案。研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参数对PEO溶液的直写微图案宽度的影响。结果表明在使用质量分数3%的PEO溶液在进行直写时,喷嘴与基底之间的工作电压从1.1 kV增大到2.6 kV,PEO微图案的平均宽度从35.61μm下降到23.3μm,并且图案宽度的工艺误差从8.24μm下降到2.21μm。随着工作电压的增大,喷嘴处的射流形态变化依次为:液滴状、弯液面、稳定射流、多股射流。同时研究发现,通过降低直写高度和增加PEO溶液的质量分数,能进一步减小微图案的宽度,并且能够提高微图案宽度的均匀性。

• 单位
  机电工程学院; 嘉兴学院