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摘要
ZAO薄膜具有较高的可见光区透射率（T≥85%）、优良的导电性、微波强衰减性（衰减率≥80%），应用于伪装隐身技术、平板显示、太阳能电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层等领域。制备ZAO薄膜的原料无毒无污染，储量丰富，成本低廉，制造工艺简单，且在等离子体中稳定性好，逐渐成为ITO的热门替代产品，尤其是在太阳能电池透明电极、平板显示器件领域。ZAO薄膜的制备方法主要有溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热解法、磁控溅射法等，最后总结了ZAO的应用领域，并对ZAO薄膜的发展趋势进行了展望。
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单位辽宁广播电视大学
