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摘要
本发明公开一种剪切增稠磨料流复合磨削加工微槽的方法,包括：将磨料添加至剪切增稠液中并充分扩散形成具有剪切增稠效应的浓悬浮液；将剪切增稠磨料流液体置于磨料流储液槽中,将工件装夹在工作平台上,调节器调节主轴倾角,使微磨头轴线与工件上表面成预设夹角,将工件和微磨头同时浸没在剪切增稠磨料流液体中；微磨头沿Y轴进给,在剪切增稠磨料流液体中高速旋转,形成柔性抛光头,并对微槽表面产生流体动压效应；一次加工完成后旋转工作平台旋转工件,微磨头沿X轴方向进给,使用磨头端面对微槽另一侧再次进行磨料流复合磨削加工,以获得两侧同等高质量的微槽表面。本发明在保证加工尺寸精度的同时提高工件表面质量,适用于微细结构的加工。
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