NIST建立QCM测量与新国际单位制之间关系

作者：楚珺尧

来源：中国计量, 2020, (04): 62-63.

DOI：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2020.04.018

<正>新测量方法美国国家标准与技术研究院(NIST)的研究人员已经探索到一种新的方法,可以将微芯片制造和其他行业不可缺少的设备所进行的测量直接与新国际单位制(SI)联系起来。这种可溯源性将极大地增强用户对其测量的信心。该设备呈大小为一角硬币的微盘状,称为石英晶体微天平(QCM),对于基于以薄膜形成的精确控制的企业至关重要。它们

• 单位
  中国计量科学研究院