电子背散射衍射的测试技术进展

作者：高尚; 黄梦诗; 王君兆; 马清

来源：材料科学与工艺, 2020, 1-10.

• 扫描电镜
• EBSD
• TKD
• CMOS
• EBSD探测器 Scanning electron microscope
• EBSD detector

电子背散射技术（EBSD）因可以获得晶体结构和取向信息而成为SEM的重要补充，在金属、半导体、矿物和陶瓷材料等领域的作用日益重要。更高的分辨率、更高的速度和效率是对EBSD技术提出的发展需求。本文在简述EBSD技术基础原理的基础上，重点评述了其在提高空间分辨率(透射菊池衍射（TKD）)及提升处理速度和表征效率(CMOS和直接电子探测相机)方面的研究进展，并对EBSD技术的未来发展方向进行了展望。

• 单位
  材料科学与工程学院; 哈尔滨工业大学（深圳）