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摘要
根据原子间相互力的作用通过原子力显微镜(AFM)可以获得纳米样品的三维形貌,为实现可靠的高精度AFM扫描成像必须对AFM系统进行精密控制。提出了一种模糊自适应闭环迭代学习算法来实现AFM系统中对样品形貌的动态精确跟踪,通过迭代学习获得的输入输出数据序列,采用最小二乘法拟合获得比例积分(PI)控制参数,利用整定后PI参数实现AFM系统扫描成像。实验结果表明,根据样品形貌整定的控制参数可以改善纳米样品的成像质量,进而提高纳米测量与操纵的精度。
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单位电子信息工程学院; 长春理工大学
