AZO基双层/多层薄膜的制备及性能

作者：赵佳乐; 段林烨; 邹石坪; 李保家^*; 杨光宇; 黄立静^*

来源：电镀与涂饰, 2021, 40(19): 1494-1500.

DOI：10.19289/j.1004-227x.2021.19.007

• 掺铝氧化锌薄膜
• 磁控溅射
• 银层
• 厚度
• 方块电阻
• 透光率
• 品质因子

采用磁控溅射法在普通钠钙浮法玻璃表面先获得厚度为50 nm的AZO(掺铝氧化锌)底层,然后制备出不同Ag层厚度(4、6、8或10 nm)的Ag/AZO双层膜以及不同AZO顶层厚度(10、30、50或70 nm)的AZO/Ag/AZO多层膜,考察了它们的表面形貌、晶体结构、方块电阻、透光率和品质因子。结果表明,Ag层厚度为6 nm时,Ag/AZO双层膜表面Ag粒子分布均匀,致密度较好,晶粒尺寸最大,综合性能最佳。在此双层膜的基础上沉积50 nm厚的AZO顶层可以较好地覆盖Ag层,提高薄膜的致密度,令晶粒尺寸明显增大,得到综合性能最佳的AZO/Ag/AZO多层膜。

• 单位
  江苏大学