集成电路工艺参数控制系统的设计与实现

作者：唐均君

来源：集成电路应用, 2019, 36(04): 29-31.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2019.04.009

• 集成电路制造
• 工艺参数
• PPCS
• 控制系统

从分析集成电路项目的自身特点入手,提出了项目管理的要素。并以上海华力12英寸先进生产线工艺参数控制系统(Process Parameter Control System,PPCS)项目案例进行参照,为国内集成电路项目自控系统的项目管理起到借鉴作用。