压电空气耦合超声换能器制备优化及实验验证

作者：董方旭; 周鑫翊; 刘发付; 凡丽梅; 高华昀; 窦占明; 段剑; 姜胜林; 张海波^*

来源：压电与声光, 2022, 44(04): 552-556.

• 空气耦合
• 1-3型压电复合元件
• 匹配层
• 仿真
• 换能器

空气耦合超声换能器作为一种无损检测(NDT)的重要设备，具有广阔应用前景，但由于压电元件与空气声阻抗失配导致低带宽(BW)、低灵敏度(SNS)及高双程插入损耗等缺陷而阻碍其应用。该文对空气耦合超声换能器制备工艺进行优化，使用COMSOL软件模拟了压电元件的尺寸设计。同时通过采用1-3型压电复合元件与优化环氧树脂+空心玻璃微珠匹配层调控压电元件与空气的声阻抗，制备了工作频率400 kHz的空气耦合换能器。在工作频率时，该换能器的厚度振动模态较纯，带宽较宽，灵敏度与双程插入损耗为-38 dB。结果表明，采用该文自研工艺制备的空气耦合超声换能器具有良好的性能与巨大应用潜力。

• 单位
  山东非金属材料研究所; 材料成形与模具技术国家重点实验室; 华中科技大学; 中国兵器科学研究院宁波分院; 光学与电子信息学院