新型惯性式微驱动器及其在微纳米定位中的应用

作者：刘超; 章海军; 张冬仙

来源：光学仪器, 2005, 27(06): 33-37.

DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.2005.06.007

• 压电陶瓷
• 惯性
• 微位移
• 定位机构 piezo element
• inertia
• micro displacement
• positioning mechanism

研制了一种基于压电陶瓷的惯性式微驱动器,其驱动电压直接由电子线路产生。介绍了微驱动器的工作原理和结构设计,测试了微驱动器的位移特性和动态响应性能。结果表明,在电压幅值20V~350V、频率20H z~125H z范围内,微驱动器可产生平稳和均匀的运动,平均步长在60nm~1502nm范围内连续可调,最大运动速度可达120μm/s。且驱动行程不受限制。给出了微驱动器在扫描隧道显微镜定位机构中的应用实例。

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室