基于蒙特卡罗分析Ⅲ族氮化物输运特性的研究

作者：郑惟彬; 孔月婵; 陈堂胜; 陈辰

来源：固体电子学研究与进展, 2009, (02): 162-166.

• 蒙特卡罗法
• Ⅲ族氮化物
• 输运特性

利用Silvaco软件中的蒙特卡罗算法,详细研究了Ⅲ-氮化物的速-场特性和低场迁移率特性,数值计算了掺杂浓度和晶格温度对-氮化物输运特性的影响。结果表明,在忽略缺陷和表面粗糙度散射的条件下,Ⅲ-氮化物的强场输运特性取决于材料的谷间散射,且当掺杂浓度小于1e17cm-3时,杂质对速-场特性的影响可忽略不计;而低场迁移率特性则主要受晶格振动散射和电离杂质散射的影响。此外,根据Ⅲ-氮化物速-场特性的模拟结果,对"速度过冲"效应提出一种新的解释。