1064 nm侧向微结构宽脊波导半导体激光器

作者：齐军; 邹永刚^*; 范杰^*; 杨晶晶; 刘莹; 马晓辉

来源：中国激光, 2021, 48(13): 45-52.

• 激光器
• 半导体激光器
• 侧向微结构
• 侧向模式
• 阈值增益
• 近场光斑

1064 nm半导体激光器在光纤通信系统方面有重大应用,但随着脊波导宽度增加,出现输出模式增加,近场光斑"多瓣"现象,导致其光束质量降低,影响其光纤耦合效率。为此提出一种侧向微结构宽脊波导半导体激光器,根据其腔内各阶侧模光场分布特点,在宽脊两侧引入微结构,以此增大高阶侧模衍射损耗,提高高阶侧模阈值增益,增大基侧模与高阶侧模的阈值增益差,消除近场光斑"多瓣"现象,改善侧向光束质量。在条宽120μm、腔长1 mm的结构参数下,制作了宽脊波导半导体激光器和具有侧向微结构的激光器件。测试结果表明,在输入电流为0.5 A时,与宽脊波导半导体激光器相比,引入侧向微结构后器件输出功率提升了58.5%,斜率效率提升了80%,电光转换效率提升了55.9%。

• 单位
  高功率半导体激光国家重点实验室; 长春理工大学