基于MEMS的微泵研究现状与进展

作者：赵安; 种银保

来源：医疗卫生装备, 2010, (02): 46-49.

• 微泵
• 微电子机械系统
• 机械式
• 非机械式 micropump
• MEMS
• mechanical
• non-mechanical

微泵是微机电系统(MEMS)中重要的执行器件,在多个学科中发挥着重要作用。根据微泵的驱动方式,综述了近年国内外出现的各种机械式和非机械式微泵的原理和相应的性能,并简要总结了微泵选型需要注意的主要指标,对其应用前景进行了展望。

• 单位
  新桥医院