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摘要
为了研究NPN双极晶体管辐照后界面态对直流参数的影响,对工艺优化前的国产某NPN双极晶体管进行110keV电子辐照,研究晶体管直流参数的变化。在实验数据基础上对其损伤特性及损伤机理进行分析,阐述其成因并提出解决方法。同时对工艺优化后的双极型晶体管进行辐照,测试界面态电荷数的变化。实验结果显示出晶体管受辐照后基极电流的变化,以及界面态复合电流所起的作用,也揭示了优化工艺后Si-SiO2界面处的界面态及NPN双极型晶体管归一化电流增益的变化趋势。
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为了研究NPN双极晶体管辐照后界面态对直流参数的影响,对工艺优化前的国产某NPN双极晶体管进行110keV电子辐照,研究晶体管直流参数的变化。在实验数据基础上对其损伤特性及损伤机理进行分析,阐述其成因并提出解决方法。同时对工艺优化后的双极型晶体管进行辐照,测试界面态电荷数的变化。实验结果显示出晶体管受辐照后基极电流的变化,以及界面态复合电流所起的作用,也揭示了优化工艺后Si-SiO2界面处的界面态及NPN双极型晶体管归一化电流增益的变化趋势。
