基于MATLAB与非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测技术

作者：贾孟; 薛常喜^*; 李闯; 兰喜瑞; 王蕾; 王伦; 吴百融

来源：激光与光电子学进展, 2019, 56(15): 111-116.

• 测量
• Q-type非球面检测
• MATLAB
• 非球面轮廓仪
• 单点金刚石车削

Q-type非球面广泛应用于光学系统设计中,针对Q-type非球面超精密加工过程中的面形检测问题,提出了一种MATLAB软件与Taylor Horbson PGI-1240非球面轮廓仪相结合的方法,以达到对Q-type非球面进行高精度检测的目的。检测结果表明,由Nanoform 700Ultra单点金刚石超精密车床加工的全口径为11.8mm的单晶铜Q-type非球面面形误差峰谷(PV)值为0.1963μm,表面粗糙度方均根(RMS)值为0.03412μm,满足加工第一阶段面形误差PV值<0.2μm和表面粗糙度RMS值<0.04μm的要求。此检测方法可以精确得到工件面形误差,为下一阶段车削加工提供数据支持。

• 单位
  长春理工大学