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摘要
设计了一个具有杠杆放大机械的二维柔性铰链式微动平台,分析其结构非线性和变形非线性对系统特性的影响。采用有限元分析方法,对微动工作台进行了静力学、模态和动态响应分析,得到微定位工作台有效工作的谐振频率和振型以及阶跃响应,验证了所设计平台的静力学性能、工作带宽和动态超调均满足设计要求。
- 单位
设计了一个具有杠杆放大机械的二维柔性铰链式微动平台,分析其结构非线性和变形非线性对系统特性的影响。采用有限元分析方法,对微动工作台进行了静力学、模态和动态响应分析,得到微定位工作台有效工作的谐振频率和振型以及阶跃响应,验证了所设计平台的静力学性能、工作带宽和动态超调均满足设计要求。
