摘要

微波滤波器是无线通信收发端的关键组件之一。通过自屏蔽式MEMS微波集成滤波器的结构及工作原理,进行自屏蔽式MEMS微波集成滤波器三维模型的绘制、整体仿真、结果分析、并针对所得的结果与设计目标比较,进行优化仿真。