一种气压传感器新型标定补偿方法（英文）

作者：杜利东; 周晓宇; 卫克晶; 赵湛; 方震; 孙学金

来源：强激光与粒子束, 2016, 28(06): 79-83.

• MEMS
• 气压
• 传感器
• 恒温

通常气压传感器的标定补偿方法复杂耗时,开发了一种新的方法去简化气压传感器的标定补偿。首先,设计恒温结构,并通过PID算法自动调节,使气压传感器的核心敏感元件工作于某一个固定温度(此温度稍高于气压传感器需要工作的最高温度点);其次,把气压传感器在与这个固定温度点相等的环境温度下进行标定;最后,完成标定后不管环境温度如何变化,气压传感器敏感元件始终工作在一个恒定的温度,因此气压传感器的标定与补偿可以得到简化。经测试,气压传感器在一定的环境温度范围内实现恒温工作,标定后可以以较高的精度测量气压,实验结果表明经过标定补偿后的气压传感器可以在实际中应用。

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 解放军理工大学