在线阳光镀膜的废气检测及处理技术

作者：李伟; 刘卫东; 马玉聪; 姚振华

来源：玻璃, 2018, 45(10): 49-52.

• 阳光镀膜
• 废气检测
• 焚烧炉
• 废气处理

采用化学气相沉积法(CVD法)制备硅膜,尾气为含氢的不定型硅、甲烷、乙烷和未完全反应的乙烯等,这些气体和褐色的不定型硅粉一起从废气中排出。因含有一些易燃易爆的氢及有机气体,导致处理困难。通过采用焚烧炉燃烧的方法,很好地解决了废气粉尘的处理问题。

• 单位
  中国耀华玻璃集团有限公司