一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究

作者：张宾; 梅涛; 马以武; 唐力强

来源：传感器世界, 2005, (03): 16-19.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.2005.03.004

• 陶瓷
• 电容
• 压力
• 传感器 ceramic
• capacitance
• pressure
• sensor

陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途。但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产。应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要。

• 单位
  中国科学院; 合肥智能机械研究所; 传感技术国家重点实验室