摘要

使用溶胶-凝胶法制备并在900℃煅烧6 h获得了NiFe2O4粉体,用于制备敏感电极。采用流延技术制备了5YSZ膜和Al2O3膜,并在膜上分别丝网印刷了参比电极和加热电极,将它们叠层并在1 480℃烧结后,再印刷NiFe2O4敏感电极并在1 150℃烧结,最终获得了电势型NH3传感器件。在11 V、13 V和15 V的加热电压下测试了器件的NH3响应性能,响应性能在13 V和15 V时较稳定,NH3敏感度分别为-47.24 mV/decade和-28.57 mV/decade。并在13 V加热电压下研究了器件对320×10-6和200×10-6 NH3混入不同浓度NO2后的响应信号,发现测试气氛中NH3浓度较高时的抗NO2信号干扰能力较强。还在此加热电压下研究了氧气浓度由10%变化到7%、4%和14%时器件对320×10-6 NH3的响应信号,发现氧气浓度低时的响应信号变化率较大。