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摘要
采用激光烧蚀氧化石墨烯薄膜，可实现其微尺度图案化加工，以应用于微纳米电子器件。但激光冲击下氧化石墨烯薄膜的结构及力、电性能变化直接影响了器件稳定性和可靠性。为研究超高应变率加载对氧化石墨烯薄膜的结构及性能的影响，采用不同功率激光冲击氧化石墨烯薄膜，通过对其表面形貌、化学成分表征揭示薄膜结构的改变机理，通过对薄膜冲击前后的硬度、弹性模量、导电率测试探索合理的激光加工参数。结果表明：在1.14 W功率的二氧化碳激光冲击下，可实现加工区氧化石墨烯薄膜的还原且不造成薄膜烧蚀断裂，其电导率可达到1.727×103 S/m，弹性模量为49.97 GPa，硬度为5.71 GPa。
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单位太原理工大学; 航天学院
