非接触式的位移传感器作为磁轴承系统的重要组件,对系统的综合性能有着重要的影响。为寻找低成本、高集成度的电感式位移传感器解调方案,本文以集成同步解调芯片为核心,经硬件设计与制板,软件开发与调试,建立了电感式位移传感器的测试平台,完成了对集成同步解调方案的评估实验。实验结果表明,同步解调芯片的输出信号与转子位移的线性度不超过2%,灵敏度为3 V/mm,最小分辨率可达1μm,能够满足一般磁悬浮轴承系统的位移检测需求。
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