摘要

随着我国工业技术的不断发展,精密微小零件已经广泛运用于高新技术领域,发展超精密微机械制造技术可以满足对现代医学、航空航天等领域的需求。本文确定了超精密微机械制造技术内涵,分析了超精密微机械制造技术的特点、关键技术和发展趋势。