超光电子铜箔的微尺度激光冲击平坦化

作者：赵恩兰; 王情情^*; 杨海峰; 彭玉兴

来源：中国激光, 2022, 49(16): 16-25.

• 激光技术
• 激光冲击
• 微尺度
• 电子铜箔
• 表面粗糙度
• 表面变形机理

根据激光冲击的原理对超光电子铜箔进行了微尺度激光冲击平坦化(MLSF)处理。首先，通过MLSF实验研究脉冲能量和冲击次数等工艺参数对电子铜箔平坦化效果(表面粗糙度Sa)的影响规律；然后，根据电子铜箔平坦化效果与工艺参数的对应规律，阐明电子铜箔的MLSF原理；最后，采用透射电子显微镜对MLSF处理前后的电子铜箔进行显微表征，揭示电子铜箔MLSF的表面变形机理。研究结果表明：当激光脉冲能量为100μJ、冲击次数为3次时，电子铜箔的表面粗糙度(Sa)从22.7 nm降低到5.0 nm,降低了78%;冲击波经吸收层和样品层后被放大，使得样品层(铜箔)与底板(玻璃)的表面形貌接近；金属箔内部的小塑性变形和下表面附近的大塑性变形是MLSF的表面变形机制。

• 单位
  中国矿业大学; 中国矿业大学（北京）; 机电工程学院