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摘要
本发明提出了一种电化学蚀刻实验装置,包括上壳体、下壳体、阳极、阴极、电解液泵、三通球阀、储液箱、压力表、进液管、回液管、调节管和加工电源；上壳体设有上腔体,下壳体设有下腔体；阳极通过阳极座安装在上腔体内,阴极通过阴极座安装在下腔体；电解液泵的进液口与储液箱连接且其出液口与三通球阀连接,三通球阀与压力表连接,三通球阀与调节管一端连接且调节管另一端与储液箱连接,进液管一端与电解液通道连通且其另一端与三通接头的出液口连接,回液管一端与电解液通道连通且其另一端与储液箱连接。本发明可对电化学蚀刻工艺参数如加工电压、电流密度、电解液压力、加工间隙进行调整,可有效缩短实验周期且成本低廉。
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