基于特征函数的空间点光强快速算法优化

作者：周珂; 史峥; 陈晔; 沈珊瑚

来源：江南大学学报(自然科学版), 2007, 6(5): 518-522.

DOI：10.3969/j.issn.1671-7147.2007.05.004

• 空间点光强
• Hopkins公式
• 特征函数
• 相干系统与双线性系统

讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法--即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的相干系统与双线性系统算法,并提出了优化的N取值方案.该方案充分考虑了光刻系统参数对N取值的影响.实验结果证明,采用了新的N取值方案的近似算法是一种高精度算法.

• 单位
  浙江大学