温度对高功率半导体激光器阵列“smile”的影响

作者：王淑娜; 张普; 熊玲玲; 聂志强; 吴的海; 刘兴胜

来源：光子学报, 2016, (05): 7-12.

• 激光器
• 半导体激光器阵列
• 有限元方法
• “smile”
• 热应力
• 温度 Laser
• Diode laser array
• Finite element method
• "Smile"
• Thermal stress
• Temperature

用数值模拟与实验测试相结合的方法,研究了温度对"smile"的影响.利用有限元方法分别模拟计算了半导体激光器芯片键合及工作过程中激光器芯片中的热应力,模拟中假设激光器芯片的弯曲仅由热应力引起;计算结果表明,激光器芯片有源区的热应力随工作温度的升高而减小,由热应力导致的芯片的弯曲随温度升高而减小.实验结果表明,对于具有相同芯片、同一封装形式、同批次的器件,"smile"随温度的升高有增大或减小的趋势,这与封装前裸芯片的弯曲形态及封装热应力的综合作用有关;若封装前裸芯片为相对平直的或凸的,则封装后激光器的"smile"将随温度升高而减小;若封装前裸芯片为凹的,封装后的激光器芯片仍为凹的,则"smi...

• 单位
  西安炬光科技股份有限公司; 中国科学院西安光学精密机械研究所; 瞬态光学与光子技术国家重点实验室