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摘要
本发明公开了一种超结构强模态阻尼XY平面解耦柔顺机构及方法,包括一个二维柔顺导向机构、两个压电陶瓷作动器和一个局部谐振超结构模组。所述二维柔顺导向机构由两个桥式放大机构、四个对称导向机构和两对复合导向机构组成；所述压电陶瓷作动器安装于桥式放大机构中,用于驱动平台运动；所述局部谐振超结构模组由超结构单元依个安装于外支架中组成,安装于二维柔顺机构中央。本发明通过内嵌超结构实现了高带宽的微纳定位平台,有效地增强了结构的低阶模态阻尼,提高了整体的控制带宽,结构简单、制造成本低廉,可作为高速扫描的载物平台使用。
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