本发明公开了一种基于磁控溅射钙钛矿光吸收层的光伏器件的制备方法,所述方法包括以下步骤:(1)将FTO透明导电玻璃清洗、吹干;(2)在FTO透明导电玻璃上制备致密TiO-2和SnO-2电子传输层;(3)在所述电子传输层上采用磁控溅射技术制备钙钛矿光吸收层;(4)在所述的钙钛矿光吸收层上制备Spiro-OMeTAD空穴传输层;(5)在所述空穴传输层上蒸镀Ag作为顶电极,即得到所述光伏器件。本发明制备的光伏器件光电转换效率达到13.09%,并表现出良好的长期稳定性。