直热式ITO靶材热压设备的设计

作者：陈正伟^*; 刘舒; 步怀立; 高光伟

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(01): 78-81.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.01.12

• ITO
• 靶材
• 装备设计
• 仿真

随着平面显示技术的发展,氧化铟锡(ITO)靶材的需求大增,然而国内生产的靶材多为低密度的中低端产品,ITO靶材的制备目前多采用的是热压烧结的形式,实现ITO靶材的制备突破研制合适的装备及工艺成为焦点问题。本文结合直热式制备ITO靶材工艺给出了ITO靶材热压炉中核心加热区的设计方法,并利用ANSYS软件对设计完成的石墨模具进行了仿真分析。