大规模生产中的磁控溅射ZnO/Al复合背电极研究

作者：邱美艳; 王宗畔

来源：功能材料与器件学报, 2015, 21(05): 94-98.

• 非晶硅
• 背电极
• 短路电流
• 最大功率

采用直流磁控溅射设备制备ZnO/Al复合非晶硅电池背电极,在实际生产线上研究对比了使用ZnO/Al复合背电极与Al背电极的非晶硅电池性能,实验证明ZnO/Al复合背电极能提高太阳电池的短路电流和最大功率,并通过扩展实验验证了使用ZnO/Al复合背电极电池工艺稳定性较好,适合大规模非晶硅电池生产。

• 单位
  天津中德职业技术学院; 南开大学