本文采用空心阴极直流弧辅助、不同工作气体和工艺过程,在400℃、2 Pa下对316L奥氏体进行离子扩渗处理。采用扫描电镜(SEM)、维氏硬度仪、洛氏硬度仪对其表面形貌、表面脆性进行表征。结果表明:与纯离子渗氮比较,碳氮共渗提高了扩渗层表面的滑移带密度和表面粗糙度,但有利于提高扩渗层的表面韧性。