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摘要
本发明公开了一种感应耦合等离子体热平衡的判断方法,具体包括：通过工业相机从透明的圆柱反应器内放电等离子体源的轴向获得气体放电的稳定态图像；通过平衡态等离子体磁流体动力学模型进行感应耦合等离子体源热平衡的二维模型仿真,得到热平衡感应耦合等离子体轴向的仿真温度等值线图；将工业相机所采集到的彩色图像通过光照强度分析方法得到等离子体源的光强分布三维图；判断等离子体源光强分布与仿真等离子体源内热平衡状态的温度分布趋势一致,则说明检测的感应耦合等离子体放电为热平衡放电。本发明将图像处理与感应耦合等离子体热平衡下的仿真结果相结合,提高等离子体热平衡判断的准确性,具有实时、直观、稳定、非接触、低成本的优点。
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