基于MgF_2波导的谐振型乐甫波器件特性研究

作者：李杰; 杜晓松; 胡佳; 蒋亚东

来源：传感器与微系统, 2008, (10): 60-62+65.

DOI：10.13873/j.1000-97872008.10.011

• 乐甫波器件
• 波导
• 质量灵敏度 Love wave device
• guiding
• mass sensitivity

在浅体声波(SSBW)器件上采用真空热蒸发法制备MgF2波导层,研究了器件的频率、插损、质量灵敏度随波导层厚度变化的特性。当波导层厚度约为2.48μm时,器件的插损最小(-23.93 dB);当波导层厚度约为6.5μm时,器件获得了最大质量灵敏度416.7 cm2.g-1。并分析了不同沉积速率对薄膜质量的影响。实验结果表明:要制备高质量的薄膜必须采用低的薄膜沉积速率,MgF2薄膜可作为乐甫波器件的波导层材料。

• 单位
  光电信息学院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室