一种内插有Dummy金属阵列的片上集成电感

作者：李小进; 祝文涛; 石艳玲; 王勇; 蔡静; 叶红波; 胡少坚

来源：2011-07-22, 中国, CN201110206561.3.

本发明属于微电子技术领域,提出了一种内插有Dummy金属阵列的片上集成电感。本片上集成电感依次包括金属层、隔离层和底层金属层；金属层通过隔离层上的通孔与底层金属层相连；金属层包括电感线圈,电感线圈内排列有Dummy金属阵列。本发明在尽可能不降低电感品质因子Q的前提下,提高了金属分布密度一致性,保证了片上集成电感的工艺一致性。

• 单位
  华东师范大学; 上海集成电路研发中心有限公司