基于狭缝波导和热光学调制的耦合特性,提出一种尺寸为15μm×20μm的绝缘硅基底的超小型微环谐振器,该器件可通过调节加热器功率调节其带宽.用时域有限差分法模拟其可调谐特性,结果表明,当加热器功率从0mW增加至0.742mW时,1550nm入射光的TE模式在1 900nm波长下的带宽可调范围为2.5nm,TM模式在1 543nm波长处的带宽可调范围为3.1nm.该器件尺寸小、驱动功率低、可调谐带宽范围大,适用于动态集成光信号处理,如重构滤波和布线等.
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