摘要
以钙钛矿结构的La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)为靶材,利用脉冲激光沉积(PLD)法,在LaAlO3(LAO)平衬底上生长LSMO薄膜。经XRD测试分析,薄膜无杂相,基本为外延生长。通过四线法测量电阻-温度(R-T)曲线,得到该薄膜M-I转变点312.8K,电阻温度系数(TCR)为3%~4%时所对应的温度范围为250K~282K,性能优于V2O5红外探测器。自行设计电路对该薄膜进行温度控制,在恒温条件下测量其R-T曲线,测量结果表明,LSMO薄膜可以设计成在室温下工作的、探测灵敏度高的测辐射热仪。
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