一种具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置

作者:张宪民; 邝泳聪; 欧阳高飞; 陈家钊; 韩佳鹏
来源:2012-05-09, 中国, ZL201210141614.2.

摘要

本发明公开了具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置,包括两个硅片承载平台,两个进出板检测相机,一个丝网升降装置,一个丝网姿态调整机构,两个丝网基准点相机,一个刮墨装置,两套硅片装载装置,两套硅片卸载装置,两套缓冲运输线;两个硅片承载平台安装在一个横向移动的基座上,可交替进入印刷工位实现刮墨操作,未在印刷工位的硅片承载平台可同步装载、卸载硅片;该印刷装置采用双硅片承载平台结构,可实现换片与印刷工序过程并行,提高生产效率,且该装置结构紧凑,设备占用面积小。