紫外激光在微细加工技术中的优势研究

作者：俞君; 曾智江; 朱三根; 龚海梅

来源：红外, 2008, (06): 9-13+40.

• 紫外激光
• 红外激光
• 红外器件 UV laser
• YAG laser
• infrared detector

本文主要涉及紫外激光加工技术。通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高。对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所