基于管式PECVD设备石墨舟传送带粘链装置的设计及应用

作者：赵彩霞; 张云鹏; 张波; 杨飞飞

来源：山西化工, 2021, 41(02): 140-144.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2021.02.49

• 石墨舟
• 传送带
• 粘链装置

光伏太阳能PECVD设备是通过石墨舟做为载体进行工艺的,目前存在从炉管工艺完后石墨舟内的碎片掉落到传送带上,将传送带烫坏的问题。如果用手工的方法进行粘结,维修时间过长,使用的周期很短。针对此问题,设计并应用了PECVD设备石墨舟传送带粘链装置,解决了石墨舟传送带断裂的问题,提高了传送带的使用寿命,缩短了维修时间,节约了生产成本。