一种新型氨气纯化器的设计

作者：侯鹏; 杨荣博; 冯玉扉; 杨瑞云; 刘君伟

来源：集成电路应用, 2022, 39(01): 252-253.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.01.109

• 光电子
• MOCVD
• 纯化器
• 超纯氨

阐述9N超纯氨气的纯化器设计,应用于光电子领域及MOCVD设备,包括纯化器工艺设计、纯化器外观设计、纯化器仪控设计,采用两塔吸附方式,可实现现场及远端控制。

• 单位
  大连华邦化学有限公司