摘要

基于中国科学院微电子研究所自主研发的In P基肖特基二极管,利用3D电磁仿真软件和电路仿真软件完成了500~750GHz检波模块的仿真计算与优化设计,该检波器以WR1.5标准矩形波导为输入口,通过波导到微带的过渡结构馈入,检波信号由SMA接头输出。当输入功率为-24d Bm时,其在整个频段内的响应灵敏度的典型值大于1500V/W。