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摘要
本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂（LiNbO3）晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导，并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试，得出半包层波导在633、1 550 nm波长下具有优良的传输性能，且仅支持TM偏振方向传输，具有单偏振性；通过计算波导的传输损耗，得出了30μm直径的波导在633及1 550 nm波长下传输性能最佳。并且通过Rsoft软件理论计算，证明了实验结果的合理性。本研究结果为光波导设计和性能优化提供了重要的参考，具有一定的实验和理论价值。
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单位深圳技术大学; 物理学院
