纳米片状金刚石膜的生长过程

作者：姚宁; 崔娜娜; 鲁占灵; 苏博; 葛亚爽; 安子凤; 张兵临

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2011, (06): 16-19.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2011.06.004

• 纳米片状金刚石
• 生长过程
• 微波等离子化学气相沉积 nanoflake-diamond
• growth process
• MPCVD

采用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。反应气体为CH4和H2,其流量比为1∶1,微波功率为1 800 W,反应气压为10 kPa。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱分析薄膜的形貌和碳结构。结果表明,纳米金刚石薄膜呈现片状的组织特征,其生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成由纳米碳颗粒组成的球状碳团簇;随着沉积时间的增加,碳团簇逐渐增大,纳米碳颗粒定向排列或自组装,最终形成片状纳米金刚石膜。

• 单位
  郑州大学; 中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所