MEMS倾角传感器研究现状及发展趋势

作者：高旗; 陈青松^*; 杨贵玉; 杨挺; 路文一; 尹玉刚

来源：微纳电子技术, 2021, 58(12): 1054-1076.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2021.12.002

• 微电子机械系统(MEMS)
• 倾角传感器
• 敏感机理
• 精度
• 鲁棒性

概述了微电子机械系统(MEMS)倾角传感器的工作原理,对MEMS倾角传感器进行分类归纳,主要分为电容式、谐振式、热对流式和光学式等,对上述MEMS倾角传感器的敏感机理、技术特点、关键技术及性能进行详尽的阐述。目前电容式MEMS倾角传感器是用量最大、技术最成熟、可供选型最多的产品;谐振式MEMS倾角传感器基于其准数字式输出和高精度成为研究热点;热对流式和光学式MEMS倾角传感器则是由于其本身测量原理的限制而应用于特定场合。最后从精度、鲁棒性、智能化、国内外技术差距及前沿技术等方面分析了MEMS倾角传感器未来的发展趋势,为国内MEMS倾角传感器的研制和选型提供依据。

• 单位
  北京遥测技术研究所